Технические спецификации

• контроль температуры 3 областей отдельно, высокая термальная однородность, контроль температуры в степени ±5. 3 трансформатора контроля температуры modules+4 температуры controlers+3 heaters+ 3.
• Насос магнитной левитации молекулярный pump+Roots pump+Gemany механический. Масло свободное, высокая эффективность.
• Паллет решетки. Хорошая светлая пропускаемость, анти- деформация.
• Низкий тариф воздушной течи, тариф давления поднимая более низкий чем 0.15Pa/H

Стандарт параметра

1. Структура: Горизонтальный
2. Контроль: PLC касания screen+ автоматический
3. Покрывая материал: Нержавеющая сталь
4. Насосы: Насос магнитной левитации молекулярный pump+Roots pump+Gemany механический
5. Эффективный космос: Широкая 700* высота 700* глубоко 1200 mm
6. Загрузка: 100KG
7. Температура: Работая 1200 ℃, ℃ ультра 1300 (в 15 минутах)
8. Термальная однородность: ±5℃ (консервация 1000жары℃)
9. Подогреватель: Материал молибдена
10. Степень вакуума: Охлаждающ лучше чем 5*10^-5 ℃PA800 лучше чем PA 8*10^-4
11. Тариф воздушной течи: низкий чем 1*10^-8 Pa.m^3/S
12. Тариф давления поднимая: Низкий чем 0.15Pa/h
13. Скорость температуры поднимая: Достигните℃ 1200в1,5часах
14. Охлаждая скорость: ℃ 400к150℃в1часе
15. Наблюдайте окном: 3

Условие силы

1. Напряжение тока: 380/220 V 50Hz
2. Полная сила: 60KW
3. Степень охлажденной воды: <25>
4. Охлажденная вода: Пропускают 4T/h, MPa давления воды 0.2-0.3
5. Качество воды: 1, ПЭ-АШ 7-9; 2, твердые примеси<100mg>
6. Обжатый воздух: Сухой, давление 0.4-0.5MPa